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Verifire? XPZ? - 是高精度高重復(fù)性的相位調(diào)變鐳射干涉儀,具有 640× 480 圖元解析度,與 ZYGO 功能強(qiáng)大的MetroPro® 軟體進(jìn)行資料處理和分析。ZYGO Verifire? XPZ型鐳射干涉儀可以為光學(xué)元器件的平面、球面面形和透射波陣面提供快速、高精度干涉測(cè)量，配合功能強(qiáng)大的MetroPro®軟體可以獲得高重復(fù)性和高精度的測(cè)量結(jié)果。在過(guò)去的三十多年，我們的干涉儀是世界各地量測(cè)設(shè)備的*選。Verifire? XPZ運(yùn)用精確相位調(diào)變技術(shù)對(duì)物件的細(xì)微面形進(jìn)行精密測(cè)量，具有很高的精確度和重復(fù)性。測(cè)量時(shí)對(duì)干涉腔長(zhǎng)進(jìn)行精確調(diào)制，同時(shí)640 x 480 圖元CCD進(jìn)行資料擷取多個(gè)條紋圖像，由MetroPro®軟體分析計(jì)算。

在使用時(shí)有如下應(yīng)用

        ? 可以測(cè)量玻璃或者塑膠光學(xué)元件，如：
        ? 平面、透鏡、棱鏡；
        ? 還有精密合金件、電腦硬碟磁片、軸承和封接面；
        ? 拋光件、陶瓷、接觸鏡等。