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測量標準

RESR：輕薄小巧的一體式不銹鋼圓光柵。采用錐面內徑的標準“A”截面圓光柵或者轉動慣量很低的“B”截面圓光柵

讀數(shù)頭尺寸 (LxHxW)

44 mm x 27 mm x 17 mm

柵距

40 μm

圓光柵外徑

52 mm至550 mm

刻線數(shù)

4096至43200（取決于圓光柵大?。?/span>

參考零位

利用磁勵體的單向重復精度達到1單位分辨率

精度*

刻劃精度

系統(tǒng)精度

±4至±0.4角秒（取決于圓光柵直徑）

±6.3至±0.6角秒（取決于圓光柵直徑）

最高速度

模擬

數(shù)字

（詳見規(guī)格手冊）

-3 dB時為2938 rpm（在52 mm RESR上）

3687 rpm（RGH40：52 mm RESR上分辨率為10 μm）

電子細分誤差 (SDE)

一般小于±0.3 μm

動態(tài)信號控制

直流光源伺服提供簡單的自動增益控制 (AGC) 功能來優(yōu)化信號水平

增量信號

模擬

數(shù)字

（查看規(guī)格手冊了解角度分辨率詳情）

1 Vpp（周期為40 μm）

分辨率從10 μm至50 nm

電氣連接

電纜長度為0.5 m、1 m、1.5 m、3 m和5 m，采用D型插頭（15針）、圓形插頭（12針）、同軸插頭（16針）或散線

電源

5 V ±5%，120 mA（典型）、175 mA（0.4 μm、0.2 μm、0.1 μm和50 nm）（無端接）

振動（工作）

55 Hz至2000 Hz時100 m/s2（最大值）

震動（非工作）

1000 m/s2，6 ms，?正弦

工作溫度

0 °C至+ 55 °C

防護等級

IP50